应用
半导体与仪器仪表
在导电材料和仪器仪表领域,法兰是关键部件,同时发挥连接、密封、安装定位、热管理和抗污染的功能。在用于光刻、蚀刻和沉积等半导体工艺的高/超高真空系统中,包括 KF、CF 和 ISO 在内的法兰可实现标准化接口以及腔室、泵组件和阀门之间的无泄漏密封。这消除了杂质污染,从而保证了晶圆工艺的产率。
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