应用
半导体与仪器设备
在半导体及精密仪器领域，法兰锻件承担着连接、密封、安装定位、热管理及防污染等多重关键功能。
在光刻、刻蚀、沉积等半导体工艺所使用的高真空及超高真空系统中，KF、CF、ISO 等标准法兰用于腔体、真空泵及阀门之间的连接，实现标准化接口与可靠密封，有效防止杂质进入，保障晶圆工艺良率。
English
中文简体
Deutsch
